发明专利已授权

一种反MMI型波导马赫-曾德干涉器的制备方法

📄 申请号：CN202010348656.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-04-28

申请人

聊城大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B6_13

IPC 分类号

技术画像

所属领域

光通信器件光通信器件集成光学波导器件

应用场景

光通信, 光互连, 集成光路, 光传感, 数据中心

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摘要

本申请提供一种反MMI型波导马赫‑曾德干涉器的制备方法，在各种类型的条形光波导的基础上，制作两个沟槽；沟槽内侧壁所围成的区域与原条形波导区域重合，即将原波导重构为脊型波导；所述脊型波导的宽度与原条形波导宽度等于或小于原条形波导。该方案可以极大简化波导马赫‑曾德干涉器的制备过程，并可将干涉器的总长度减少到数微米至数十微米量级，从而为基于各类低折射率对比波导的集成光学芯片开发，以及高性能的微型波导传感器制备提供了新的思路。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于波束形成原理的静止状态下纯电动汽车无线充电方法

当前第 / 件

一种“面发射”波导激光器谐振腔的制备方法

同领域国内专利 · IPC: (G02B6_13)

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