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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202011284967.9 | 专利名称: | 一种跨尺寸微纳结构阵列的制备方法 |
申请日: | 2020-11-17 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B23H5/06分类检索 微 阵列专利转让搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明涉及一种跨尺寸微纳结构阵列的制备方法,包括:S1、提供浸入至电解液中的工件作为第一电极,提供削边线电极作为第二电极并设置在工件上方,提供干涉光束调节器并输出多光束激光干涉照射在工件表面;S2、第一电极和第二电极之间供电构成回路,驱动削边线电极相对工件往复运动,工件在削边线电极相应位置处发生电化学溶解或电化学沉积,并形成微纳结构阵列,无需掩模,且解决了现有超短脉冲电源输出功率小的问题,提高了微纳结构阵列的加工精度,无需电解液进行高速流动,提高系统安全性及降低成本,实现金属材料各向异性电化学溶解或电化学沉积,可有效提高沉积层的致密性及结合强度,从而提高具有大深宽比的微纳结构的刚性。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |