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摘 要:本发明公开了一种快速调节等离子体放电阻抗匹配的方法,结合射频微波中的能量传输和阻抗匹配理论和等离子体放电的物理机制,通过ADS软件模拟的方式对匹配状态进行预测和计算,根据实际调节元件的参数对匹配箱进行合理设计,从而在进行等离子体放电实验时快速调节阻抗匹配。本发明匹配调节用时短、成本低,具有普适性,对所有放电条件均能够提供调节匹配指导方案,为自动匹配技术提供发展方向。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810384669.3 | 专利名称: | 一种快速调节等离子体放电阻抗匹配的方法 |
申请日: | 2018-04-24 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G06F30/20搜分类 电阻 等离子体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |