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摘 要:本发明提供的一种电子束准直装置及电子束准直系统,其中,一种电子束准直装置,包括准直模块,该准直模块包括叠在一起的三层外尔半金属薄膜,三层外尔半金属薄膜中位于两侧的两层外尔半金属薄膜为相同的薄膜,且位于中间的外尔半金属薄膜与位于两侧的外尔半金属薄膜的外尔节点能量不同,以由垂直外尔半金属薄膜射入准直模块且能量在预设能量范围内的电子中获取横向动量在预设动量范围内的电子并射出。由此,由垂直外尔半金属薄膜射入的电子中获取到横向动量在预设动量范围内的电子,进而将其射出,其中,预设动量范围为0或者接近于0的范围,因此,射出电子不会在横向动量的影响下偏移原来的轨道运动,准直效果较佳。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201610242353.1 | 专利名称: | 一种电子束准直装置及电子束准直系统 |
申请日: | 2016-04-19 | 申请/专利权人 | 苏州大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L29/02搜分类 电子搜索 |
公开/公告日: | 2018-09-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN105742335B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2018/09/11 | 授权 | |
2016/08/03 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 29/02 专利申请号: 201610242353.1 申请日: 2016.04.19 |
2016/07/06 | 公开 |