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摘 要:本实用新型公开了一种带有定量上料功能的蚀刻机,包括蚀刻机、药剂箱和减速电机,所述蚀刻机一侧通过螺栓固定有药剂箱,所述药剂箱顶部通过安装架安装有抽水泵,所述抽水泵的进水端通过卡箍固定有进料软管,所述抽水泵的出水端通过螺纹槽连接有单向阀,所述单向阀顶端通过卡箍固定有出料软管,所述药剂箱顶部一端焊接有V形加药管,所述V形加药管底部一端通过螺纹槽连接有储杂管,所述蚀刻机顶部通过安装架安装有减速电机。本实用新型通过设置液位传感器,可以根据蚀刻机药剂桶内水位情况进行定量加料,同时具有消泡功能,可以消除进入蚀刻机药剂桶内的气泡,适合被广泛推广和使用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022371974.4 | 专利名称: | 一种带有定量上料功能的蚀刻机 |
申请日: | 2020-10-22 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23F1/08搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 1900.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |