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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

发明已授权

本发明涉及白光干涉仪领域，公开了一种改进式白光干涉仪，包括光源、参考单元、反射单元、分束单元和采集单元，通过在普通白光干涉仪中加入分光棱镜、带通滤波器和光电二极管，采集到具有更好的空间相干性、时间相干性的单色光干涉信号，成本较低，结构简单容易实现；本发明还公开了一种改进式白光干涉仪消除扫描误差的方法，通过处理光电二极管得到的具有相同相位分布的单色光信号来修正白光干涉信号，消除由参考臂的非匀速运动和环境振动引入的相位误差，用以提高白光干涉测量系统在复杂环境中测量精度和重复性。

📄 2024103419580 📂 G01B9_02056 👤 华侨大学 📅 2024-03-25

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一种改进式白光干涉仪及其消除扫描误差的方法

2024103419580 · 华侨大学

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