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摘 要:本发明公开了一种大径向位移裕度激光外差干涉角度测量装置及方法。采用两个法拉第旋光器实现激光外差干涉角度测量光路中线偏振光偏振方向的准确正交转换;包括激光外差干涉角度探测光路部分和角度测量镜,利用法拉第旋光器、偏振分光镜、四分之一波片、平面反射镜共同构建的光路结构使得当测量镜存在大径向位移误差时,测量光束能够有效逆返。本发明解决了传统激光干涉角度测量技术中测量镜存在大径向位移误差导致测量光束偏离探测器上的初始探测孔径,影响干涉信号的正常生成甚至导致干涉测量中断的技术问题,可实现兼顾高分辨率和大测量范围的角度测量,适用于精密加工与制造、机械系统的装调和校准等领域所涉及精密工作台的角度测量与校准中。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710944238.3 | 专利名称: | 一种大径向位移裕度激光外差干涉角度测量装置及方法 |
申请日: | 2017-10-12 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/26搜分类 激光搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |