发明专利已授权

一种大径向位移裕度激光外差干涉角度测量装置及方法

Name: 一种大径向位移裕度激光外差干涉角度测量装置及方法
Brand: 浙江理工大学
SKU: 2017109442383
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710944238.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-10-12

公开号

CN107782256A

公开日

2018-03-09

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_26

IPC 分类号

G01B11_26

技术画像

所属领域

测量装置激光干涉测量光学角度测量精密计量测量装置

应用场景

精密制造, 半导体制造设备, 机床校准, 计量检测, 科研仪器

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摘要

本发明公开了一种大径向位移裕度激光外差干涉角度测量装置及方法。采用两个法拉第旋光器实现激光外差干涉角度测量光路中线偏振光偏振方向的准确正交转换；包括激光外差干涉角度探测光路部分和角度测量镜，利用法拉第旋光器、偏振分光镜、四分之一波片、平面反射镜共同构建的光路结构使得当测量镜存在大径向位移误差时，测量光束能够有效逆返。本发明解决了传统激光干涉角度测量技术中测量镜存在大径向位移误差导致测量光束偏离探测器上的初始探测孔径，影响干涉信号的正常生成甚至导致干涉测量中断的技术问题，可实现兼顾高分辨率和大测量范围的角度测量，适用于精密加工与制造、机械系统的装调和校准等领域所涉及精密工作台的角度测量与校准中。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20191115

✅ 授权

20180403

?? 实质审查的生效：

20180309

📄 公开

基于Lattice编码放大转发的网络编码方法及系统

当前第 / 件

一种基于参考信号移相的激光外差干涉信号处理方法

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