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摘 要:本实用新型公开了一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构,包括热屏,热屏上活动设置有炉盖,热屏与炉盖之间设置有热屏提升机构,热屏提升机构具体结构为:包括一对平行竖直设置的提升杆,提升杆的下端安装有扇形的旋片挂钩,热屏杆的上端连接有旋转拧手,提升杆的上下运动是通过提升电机带动丝杠的旋转,从而驱动与提升杆上部连接的热屏运动支座实现提升和下降的动作,热屏运动支座通过下方安装的波纹管与热屏连接底座法兰连接为一个整体,整个热屏提升机构就是通过热屏连接底座法兰安装固定在炉盖的对应窗口位置。本实用新型解决了现有技术中存在的高温对热屏提升杆的影响以及热屏提升杆对温度梯度影响的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022467092.8 | 专利名称: | 一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构 |
申请日: | 2020-10-30 | 申请/专利权人 | 西安理工大学 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 陕西省西安市碑林区金花南路5号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B15/00搜分类 半导体 生长 单晶搜索 |
公开/公告日: | 2021-07-27 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN213804062U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2021/07/27 | 授权 |