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24小时咨询热线摘 要：本发明公开了一种金刚石热沉GaN基异侧电极LED制作方法，先在蓝宝石衬底上MOCVD生长GaN基LED外延材料；再ICP刻蚀蓝宝石衬底GaN基LED外延材料，进行器件隔离；再对蓝宝石衬底GaN基LED外延材料表面磁控溅射p型接触金属、反射金属和键合金属；再对金刚石热沉衬底表面磁控溅射键合金属；再将蓝宝石衬底GaN基LED外延材料和金刚石热沉衬底进行金属键合；再采用激光剥离技术对蓝宝石衬底进行剥离；最后磁控溅射n型接触金属。本发明采用高热导率的金刚石做热沉，LED阳极金属与金刚石金属键合接触，散热优势明显；所述LED阳极金属与金刚石低温下金属键合，有效避免了传统的高温键合对LED性能的影响；所述蓝宝石衬底激光剥离过程中，工艺简单。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201611081848.7 | 专利名称： | 一种金刚石热沉GaN基异侧电极LED制作方法 |
| 申请日： | 2016-11-30 | 申请/专利权人 | 陕西科技大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 陕西省西安市未央区大学园1号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L33/64搜分类 电子元器件 LED 电子设备和元器件搜索 |
| 公开/公告日： | 2019-04-12 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN106784276B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2019/04/12 | 授权 | |
| 2017/06/23 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 33/64 专利申请号: 201611081848.7 申请日: 2016.11.30 |
| 2017/05/31 | 公开 |
