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摘 要:本实用新型公开了一种硅片产线用一拖二机械手,包括驱动梁,所述驱动梁的内侧活动套装有滑座,所述滑座的顶部装配有对其进行驱动的驱动座,所述滑座的底部装配有驱动缸,所述驱动缸的输出轴为驱动杆,所述驱动杆的底端固定套装有主吸盘座,所述主吸盘座的顶部固定安装有第一真空座,且主吸盘座的底部装配有输入端与第一真空座相连通的主真空吸盘组;该硅片产线用一拖二机械手,通过主吸盘座底部主真空吸盘组的设置,能够通过第一真空座配合主真空吸盘组对该装置底部的硅片进行吸附,吸盘式吸附的方式能够保证该装置的限位效果,同时也能够对硅片进行防护,解决了现有夹持式机械手夹持式转运易对硅片造成损伤且转运效果不佳的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202221724346.2 | 专利名称: | 一种硅片产线用一拖二机械手 |
申请日: | 2022-07-06 | 申请/专利权人 | 新疆康特硅基新材料有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州准东经济技术开发区五彩湾新城五彩路101号孵化基地2-204室05号(五彩湾) |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/677搜分类 半导体 机械臂 硅 港口 机械制造搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/12/20 | 授权 |