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摘 要:本发明公开了直拉硅单晶生长系统中磁场电源的控制方法,具体步骤如下:在当前k时刻获得系统采样信号,将负载电压vos(k)与目标电压vf(k)比较形成偏差信号Δv(k)输入外环无模型自适应控制器,内环MLD模型根据当前时刻的采样信号以及当前时刻的控制量u(k)进行模型状态更新;计算得到电感电流参考值Iref(k)和内环MLD模型更新完毕的模型状态xm(k);模型预测控制器根据Iref(k)以及当前时刻的模型状态xm(k)计算下一时刻的控制量u(k),将得到的控制量施加到被控系统以及内环MLD模型中。本发明实现了具有感性负载特性的磁场电源的精确控制。与传统控制方法相比,系统参数与模型参数一致时提高了系统稳定性以及控制精度;当系统参数发生变化导致模型失配时,也可以通过内外环调节使系统稳定。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910098559.5 | 专利名称: | 直拉硅单晶生长系统中磁场电源的控制方法 |
申请日: | 2019-01-31 | 申请/专利权人 | 西安理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市金花南路5号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H02M3/156搜分类 电源 硅 磁场 生长 单晶搜索 |
公开/公告日: | 2022-01-07 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110144622B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/01/07 | 授权 | |
2019/09/13 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C30B 15/20 专利申请号: 201910098559.5 申请日: 2019.01.31 |
2019/08/20 | 公开 |