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摘 要:本发明公开了一种周期双向脉冲控制单晶炉软轴提拉系统无序摆动方法,步骤包括:步骤1、构建晶体生长软轴提拉系统的动力学模型;步骤2、设置针对软轴提拉系统的周期双向脉冲控制器,设计一个周期双向脉冲控制器,在一个旋转周期内等时间间隔对转速施加一个负脉冲和一个正脉冲,正负脉冲交替应用,使得软轴提拉系统的平均转速不变;步骤3、利用BF算法确定周期双向脉冲控制器的控制参数的选择范围。本发明的方法,可以抑制软轴系统在晶体生长中的无序摆动,使摆动处于周期一运动状态;无需状态反馈,控制器设置简单,控制间歇加入,不改变系统平均转速,对晶体生长工艺参数影响小。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011584097.7 | 专利名称: | 周期双向脉冲控制单晶炉软轴提拉系统无序摆动方法 |
申请日: | 2020-12-28 | 申请/专利权人 | 西安理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市碑林区金花南路5号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B15/22搜分类 制单 单晶炉搜索 |
公开/公告日: | 2021-11-16 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112760705B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2021/11/16 | 授权 | |
2021/05/25 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C30B 15/22 专利申请号: 202011584097.7 申请日: 2020.12.28 |
2021/05/07 | 公开 |