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摘 要:本发明公开了一种闭式静压导轨运动精度的压电调控装置,包括固定连接在静压导轨的底座上的装置固定支架,装置固定支架顶部与静压导轨的底座之间安装有压电调控组件,压电调控组件自上而下由固定预紧组件、压电晶体组件、末端连接组件构成,其中压电晶体组件与驱动器连接,压电调控组件底部设置有导轨压板,导轨压板底部设置有导轨滑块,导轨滑块位于静压导轨的底座上,静压导轨的底座上还安装有传感器支架,传感器支架上设置有距离传感器,距离传感器实时监测导轨滑块的位置信息,本发明还公开了闭式静压导轨运动精度的压电调控装置的压电调控方法,解决了现有技术中存在的静压导轨工作时导轨形面变形对运动直线精度造成影响的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910470607.9 | 专利名称: | 闭式静压导轨运动精度的压电调控装置及压电调控方法 |
申请日: | 2019-05-31 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B41/02搜分类 调控搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |