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摘 要:本发明公开了一种周期单脉冲控制单晶炉软轴提拉系统非周期摆动方法,步骤包括:步骤1、构建晶体生长软轴提拉系统的动力学模型;步骤2、构建周期单脉冲控制器;外部唯一可以操作的变量是晶转速度Ω,选择脉冲控制能够减少对平均转速的影响,也就是减小对工艺参数的影响;步骤3、确定周期单脉冲控制器的参数选择范围。本发明的方法,可以抑制软轴系统在晶体生长中出现的非周期运动,使摆动处于周期状态;无需状态反馈,控制器设置简单,控制间歇加入,对转速扰动小,控制器能效高。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011586245.9 | 专利名称: | 一种周期单脉冲控制单晶炉软轴提拉系统非周期摆动方法 |
申请日: | 2020-12-28 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B15/20搜分类 制单 单晶炉搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |