一种直拉硅单晶生长过程热场模型辨识方法

摘     要：本发明公开了一种直拉硅单晶生长过程热场模型辨识方法，首先通过采样装置分别获得加热器功率以及相同时刻下晶体直径采样数据，作为输入输出数据对；使用支持向量机方法确定系统的阶次和时滞，然后通过长短时记忆网络LSTM确定加热器功率‑直径的非线性和大时滞模型；最后将训练好的网络权值和阈值作为模型参数，整个网络作为辨识得到的加热器功率‑直径模型，本发明通过LSTM网络引入时间作用，保存过去和现在的系统信息，解决了传统模型不考虑时间作用，以及机理建模或者直接采用已有的惯性环节加纯滞后模型而造成模型精度不高的问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2019/07/23	授权
  2019/01/15	实质审查的生效	IPC(主分类): C30B 15/22 专利申请号: 201811075342.4 申请日: 2018.09.14