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摘 要:本发明公开了一种芯片在线清洗设备,包括自动送料机构、浸泡式清洗装置、喷淋式清洗装置、定位台。所述浸泡式清洗装置包括浸洗柜和风切机构,浸洗柜内的设置进料传送带、出料传送带,进料传送带与出料传送带之间设置盛装有浸洗液的浸洗池,浸洗池内并排设置对应进料传送带的第一输料架、对应出料传送带的第二输料架;所述第一输料架包括同步垂直向下运动的两对输料带,两对输料带之间的下部位置设置滑动于第一输料架与第二输料架之间的滑板,第一输料架与第二输料架之间的上部位置设置对应出料传送带将芯片拨动到出料传送带的料机构。本发明可实现对芯片长时间的浸泡洗和短时间的喷淋洗,有效去除芯片表面的大颗粒污染物以及微量污染。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201210279153.5 | 专利名称: | 芯片在线清洗设备 |
申请日: | 2012-07-26 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B3/04搜分类 集成电路搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |