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摘 要:本发明公开一种晶体管型甲醛传感器及其制作方法,其中,所述晶体管型甲醛传感器包括基底、设置在所述基底上的栅电极、设置在所述栅电极上的介电层、设置在所述介电层上的复合薄膜、设置在所述复合薄膜上的源电极和漏电极,所述复合薄膜为吸附有金属纳米颗粒的氧化锌薄膜。本发明所提供的晶体管型甲醛传感器对甲醛具有特异性选择性且抗干扰性强,解决了现有技术中甲醛传感器稳定性、选择性较差的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810562889.0 | 专利名称: | 一种晶体管型甲醛传感器及其制作方法 |
申请日: | 2018-06-04 | 申请/专利权人 | 深圳大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市南山区南海大道3688号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N27/00搜分类 环保 传感器搜索 |
公开/公告日: | 2018-12-18 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN109030564A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2021/05/11 | 授权 | |
2019/01/11 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01N 27/00 专利申请号: 201810562889.0 申请日: 2018.06.04 |