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摘 要:本发明的一种双金属浮栅存储器及其制备方法,包括步骤:自下而上依次包括基底、栅极、阻挡介电层、纳米颗粒层、隧穿介电层、半导体层及源漏电极;其中,所述纳米颗粒层的材料为双金属合金纳米颗粒,所述纳米颗粒层为纳米颗粒单层。本发明通过选择双金属合金纳米颗粒,可实现对纳米颗粒费米能级的调控,从而实现对存储器展现可调的性能。另外,采用微接触印刷法制备单层结构的双金属合金纳米颗粒层,可有效节省材料,降低损耗,大大减少了存储器件制造成本。此外,本发明存储器器件结构可实现高密度存储,维持存储器器件高性能运行,调控浮栅能级实现了数据的长时间保存,并实现了双金属结构纳米粒子存储器件读写速度和记忆时间的平衡。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201610844648.6 | 专利名称: | 一种双金属浮栅存储器及其制备方法 |
申请日: | 2016-09-23 | 申请/专利权人 | 深圳大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市南山区南海大道3688号深圳大学办公楼358室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L27/28搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2017-01-18 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN106340528A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2019/01/15 | 授权 | |
2017/02/15 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 27/28 专利申请号: 201610844648.6 申请日: 2016.09.23 |
2017/01/18 | 公开 |