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| 专利/申请号： | CN201510446289.4 | 专利名称： | 激光脉冲溅射沉积制备Ni-Mn-Co-In合金薄膜的方法 |
| 申请日： | 2015-07-27 | 申请/专利权人 | 大连大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 辽宁省大连市经济技术开发区学府大街10号 |
| 专利状态： | 专利失效 查询审查信息 | 分类号： | C23C14/18分类检索 塑料 CO 合金薄膜 In专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2016-02-03 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN105296925A | 交易状态： | 已转让 搜索相似专利 |
摘 要：本发明提供了一种激光脉冲溅射沉积制备Ni-Mn-Co-In合金薄膜的方法。该合金薄膜的结构通式为Ni50Mn34In16-XCoX，通式中x＝0、2、4、6，该薄膜按如下方法制备：按配比取Ni、Mn、Co、In金属单质作为靶材原料，将靶材原料放置于非自耗真空电弧炉熔内熔炼，电弧炉内抽真空至5×10-3Pa后，充入保护气，得到圆形靶材；将预处理后的基板和靶材放入真空系统中，抽真空至1.0×10-4Pa，基板温度为500～700℃，基板与靶材间距离为3～5cm；再用激光器发射激光，控制频率为3～4Hz，溅射1～3小时，制得要求厚度的薄膜；最后将薄膜在800～900℃下退火0.5～3h，制备出Ni50Mn34In16-XCoX合金薄膜。本发明制备的合金薄膜的成分更精确，粗糙度更低，各向异性强，该合金薄膜韧性好，强度大，制备工艺简单，成本低，易于工业化生产。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2025/07/25 | 未缴年费专利权终止 | IPC(主分类): C23C 14/18 专利号: ZL 201510446289.4 申请日: 2015.07.27 授权公告日: 2018.07.06 |
| 2018/07/06 | 授权 | |
| 2016/03/02 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 14/18 专利申请号: 201510446289.4 申请日: 2015.07.27 |
| 2016/02/03 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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