化学气相沉积设备 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

实用新型已授权

本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，且公开了一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置，包括支撑升降机构和清洗机构，清洗机构活动安装于支撑升降机构表面中心位置，支撑升降机构设置于清洗机构外表面四周。本实用新型通过清扫刷外表面与卡接槽外表面位置相对应，启动驱动电机，转轴转动，带动传送带运行，传送带内壁与转动杆外表面接触，可有效带动转动杆同步转动，工作人员将导管卡接在卡接槽位置，并通过外界设备对支撑板的高度进行调整，让转动套杆下降至导管内部，开设的散水孔将水箱中的水引入到导管中，在转动套杆转动有效让清扫刷在导管内部转动清扫，可对导管内腔清洗干净，提高工作效率。

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一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置