实用新型已授权

硅片清洗烘干一体机

Name: 硅片清洗烘干一体机
Brand: 苏州富泽环境技术有限公司
SKU: 2025221619462
Availability: InStock

📄 申请号：CN202522161946.2 📄 发布日：2026/09/21

著录项目信息

申请日

2025-10-13

公开号

CN224775335U

公开日

2026-09-18

申请人

苏州富泽环境技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H10P72_00

IPC 分类号

H10P72_00 , H10P72_30 , H10P72_76 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆清洗晶圆干燥

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 晶圆加工, 光伏电池制造, 硅片加工

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摘要

本申请提供了一种硅片清洗烘干一体机，包括：清洗系统和烘干系统，所述清洗系统和所述烘干系统连接，从硅片清洗移动方向上看，所述清洗系统设置在所述烘干系统前端，所述清洗系统和所述烘干系统之间设有提拉机构，其中，所述清洗系统的前端设有花篮传输机构和第一搬运机构，所述清洗系统和所述烘干系统的上方设有第二搬运机构，所述第二搬运机构与所述清洗系统和烘干系统平行，所述清洗系统和所述烘干系统的一侧平行设有空篮回流机构，所述空篮回流机构沿所述清洗系统和所述烘干系统排列的方向延伸。本申请将清洗及烘干设备集成一体化，可提升空间利用率，降低人工成本，提高产能。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN224775335U

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当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于铝型材加工的自动上料装置

当前第 / 件

兼容式花篮载具及提拉装置

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：3 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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