实用新型已授权

一种高精度半导体器件专用设备定位调节装置

Name: 一种高精度半导体器件专用设备定位调节装置
Brand: 山东福吉半导体科技有限公司
SKU: 2025219107589
Availability: InStock

📄 申请号：CN202521910758.9 📄 发布日：2026/08/24

著录项目信息

申请日

2025-09-05

公开号

CN224746909U

公开日

2026-09-11

申请人

山东福吉半导体科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H10P72_50

IPC 分类号

H10P72_50 , H10P72_00 , H10P72_78 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备精密定位机构运动控制

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 芯片封装, 精密装配, 工业自动化

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摘要

本实用新型公开了一种高精度半导体器件专用设备定位调节装置，涉及半导体制造与测试领域，解决了传统装置吸附不均、定位精度低及角度调节不足的问题。该装置包含机架、定位台、驱动机构、滑动组件等单元。定位台采用蜂窝状真空吸附槽，吸附通孔直径0.2mm，配合金刚石定位柱与碳化硅耐磨球头，实现亚微米级吸附与定位精度。驱动机构由压电推杆、柔性铰链和光栅位移传感器组成，实现X、Y向高精度位移控制；角度微调组件通过偏心调节凸轮、弧形导向滑轨与氮化硅陶瓷钢珠配合，实现0.001°级角度调节。方案集成高精度吸附、位移闭环控制与角度微调，显著提升半导体器件加工与测试的精度与可靠性，延长设备使用寿命。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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