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发明专利
已授权
一种用于悬臂梁型SOI-MEMS器件的选择性电化学刻蚀方法
📄 申请号：CN202011039741.2
📄 发布日：2026/08/19
著录项目信息
申请日
2020-09-28
公开号
CN112265955A
公开日
2021-01-26
申请人
江苏昊微纳科技服务有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
B81B7_04
IPC 分类号
B81B7_04
,
B81C1_00
,
技术画像
所属领域
微机电系统
微机电系统
半导体刻蚀
微纳加工
应用场景
MEMS传感器, 悬臂梁结构制备, 惯性器件制造, 微执行器, 半导体加工
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摘要
本发明提出了一种用于悬臂梁型SOI‑MEMS器件的选择性电化学刻蚀方法，是四电极电化学刻蚀方法在MEMS器件加工上的新应用，可以解决悬臂梁的释放和使用中出现的粘附问题。对悬臂梁型SOI‑MEMS器件进行释放后，采用选择性电化学刻蚀的方法对衬底层进行了刻蚀，而器件层不粗糙化处理，腐蚀埋藏氧化层的方法能增加电化学腐蚀处理层的粗糙度；电化学腐蚀后，释放HF蒸气的开关衬底层，开关的活动部分与基板的分离长度和间隙增大；随着粗糙度和间隙的增大，导致开关粘附的压力也大大增加。选择性电化学腐蚀可有效防止悬臂梁式开关或其他SOI‑MEMS器件的制造和使用中的粘附问题。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
气体压缩冷凝液化和低温工质发电装置及发电系统
当前第 / 件
一种用于悬臂梁式微开关最大粘附压力的检测装置
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📋 交易方式：
委托待转让
📌 交易状态：
在售
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📋 项目申报：
未申报
资金托管
权属尽调
包过户
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