发明专利已授权

一种压电执行器的非对称迟滞、蠕变模型及其逆补偿方法

Name: 一种压电执行器的非对称迟滞、蠕变模型及其逆补偿方法
Brand: 浙江理工大学
SKU: 2021109183690
Availability: InStock

📄 申请号：CN202110918369.0 📄 发布日：2026/08/18

著录项目信息

申请日

2021-08-11

公开号

CN113759716B

公开日

2024-03-26

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G05B13_04

IPC 分类号

G05B13_04

技术画像

所属领域

压电执行器压电执行器迟滞非线性建模精密驱动控制

应用场景

精密定位, 微纳制造, 光学精密调整, 智能机器人, 半导体设备

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摘要

本发明公开了一种压电执行器的非对称迟滞、蠕变模型及其逆补偿方法，包括以下步骤：提出一种新的迟滞模型，结合非对称因子和蠕变算子，构建新的非对称迟滞、蠕变模型；采集压电执行器的输入输出，根据非对称迟滞、蠕变模型，运用粒子群算法进行模型的参数辨识；运用逆结构方式在非对称迟滞、蠕变模型基础上，构造逆结构补偿器；将逆结构补偿器与压电执行器连接起来实现压电执行器的精确控制。上述技术方案提出的迟滞模型，结构简单、参数少、易于辨识、结合非对称因子和蠕变模型，能够精确的表达压电执行器的非线性特性，在模型的基础上通过逆结构补偿器设计，能够实现压电执行器中迟滞、蠕变特性的补偿，实现压电执行器的精密控制。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240326

✅ 授权

20211224

?? 实质审查的生效：

20211207

📄 公开

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