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本发明公开了一种压电执行器的非对称迟滞、蠕变模型及其逆补偿方法，包括以下步骤：提出一种新的迟滞模型，结合非对称因子和蠕变算子，构建新的非对称迟滞、蠕变模型；采集压电执行器的输入输出，根据非对称迟滞、蠕变模型，运用粒子群算法进行模型的参数辨识；运用逆结构方式在非对称迟滞、蠕变模型基础上，构造逆结构补偿器；将逆结构补偿器与压电执行器连接起来实现压电执行器的精确控制。上述技术方案提出的迟滞模型，结构简单、参数少、易于辨识、结合非对称因子和蠕变模型，能够精确的表达压电执行器的非线性特性，在模型的基础上通过逆结构补偿器设计，能够实现压电执行器中迟滞、蠕变特性的补偿，实现压电执行器的精密控制。