实用新型已授权

一种自动对位自动调节曝光平台结构

📄 申请号：CN202321649929.8 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2023-06-27

公开号

CN220357427U

公开日

2024-01-16

申请人

河源市璐悦自动化设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_20

IPC 分类号

G03F7_20

技术画像

所属领域

自动对位技术自动对位技术曝光设备精密运动平台

应用场景

PCB制造, 半导体光刻, 平板显示制造, 电子封装, 光伏电池制造

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型公开了一种自动对位自动调节曝光平台结构，包括底座，所述底座中设有通孔，通孔内设有升降机构，底座上横移模组，该横移模组的驱动端装设有底板，底板上设有支撑板，支撑板上设有滑块，滑块与滑轨连接，滑轨安装在立架上，立架顶部装设有顶板，底板上设有顶针，顶板上设有顶针孔，顶针从项针孔中活动穿过，顶板与升降机构连接，底板两侧分别设有视觉调节机构。本实用新型方便调节顶板高度位置，解决了对于高精度微线路曝光重复精度的问题，提升稳定性和生产良率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种具有止滑效果的方向盘套

当前第 / 件

一种手动调节对位检测平台

同领域国内专利 · IPC: (G03F7_20)

G03F7_00 G03F7_004 G03F7_033 G03F7_09 G03F7_11 G03F7_16 G03F7_20 G03F7_30 G03F7_38 G03F7_40 G03F7_42 覆盖11个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：17 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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📊 出价记录 (3条)

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