发明专利已授权

一种超声辅助强化的液膜剪切抛光装置及方法

Name: 一种超声辅助强化的液膜剪切抛光装置及方法
Brand: 浙江工业大学
SKU: 2022115665549
Availability: InStock

📄 申请号：CN202211566554.9 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2022-12-07

公开号

CN116000709B

公开日

2026-03-24

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B1_04

IPC 分类号

B24B1_04 , B24B41_00 , B24B41_06 , B24B47_12 ,

技术画像

所属领域

精密加工技术精密加工技术超声辅助加工抛光技术

应用场景

精密制造, 半导体晶圆加工, 光学元件加工, 模具抛光, 表面处理

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摘要

本发明公开了一种超声辅助强化的液膜剪切抛光装置及方法，包括抛光装置、工件夹具及抛光池，还包括超声波发生装置，所述超声波发生装置位于抛光池的底部与侧部，且所述超声波发生装置的超声发送方向与待加工工件正对；所述抛光装置包括表面结构化抛光盘、抛光盘驱动机构、抛光盘定位机构；所述抛光装置设置在抛光池的顶部，工件夹具设置在抛光池的底部；所述工件夹具与表面结构化抛光盘均位于抛光池液面以下。本发明在表面结构化抛光盘和超声波发生器的双重强化作用下，工件与抛光盘之间产生液膜剪切效应，提高加工效率和加工表面均匀性，实现工件表面高效高质量低损伤抛光。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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