发明专利已授权

芬顿辅助力控微半球凹模阵列复合加工方法

Name: 芬顿辅助力控微半球凹模阵列复合加工方法
Brand: 浙江工业大学
SKU: 201910463409X
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910463409.X 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-05-30

公开号

CN110370101B

公开日

2021-05-04

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B1_04

IPC 分类号

B24B1_04 , B24B49_12 , B28D5_00 ,

技术画像

所属领域

微细加工微细加工复合加工模具制造

应用场景

精密模具制造, 光学元件加工, 微透镜阵列制造, 微结构表面加工

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摘要

本发明公开了芬顿辅助力控微半球凹模阵列复合加工方法，将碳化硅片工件置于微铣削机床下进行预加工，在碳化硅片上生成粗加工的凹球冠阵列，凹球冠直径为最终加工成品的直径，球冠深小于成品所需深度；将变幅杆作为研抛工具的主体，变幅杆下端则通过双头螺柱与可更换的工具头连接，工具头在工作时通过共振传递微型超声发生器的振动，工具头底部加工阵列凹球坑，球坑直径小于等于球体直径。本发明采用微铣削法对碳化硅片工件进行粗加工，再使用超精密研抛装置对半成品碳化硅片工件进行精加工，并结合芬顿液对碳化硅工件化学软化作用、微超声产生的空化作用和工具头对工件的物理锤击，形成高形状精度、低表面粗糙度、高表面质量微半球凹模。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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