发明专利已授权

变刚度锥形螺旋弹簧阵列抛光盘

📄 申请号：CN201710155689.9 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2017-03-16

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24D13_14

IPC 分类号

B24D13_14 , B24D13_20 ,

技术画像

所属领域

抛光设备抛光设备精密加工弹性元件

应用场景

精密表面抛光, 晶圆加工, 光学元件加工, 模具抛光, 复杂曲面加工

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摘要

变刚度锥形螺旋弹簧阵列抛光盘，包括抛光盘本体、锥形螺旋弹簧阵列、抛光垫以及半球形支架，抛光盘本体的上部设有抛光腔，所述抛光盘本体底部与受电机驱动的旋转工作台固接；抛光盘本体的抛光腔内底面装有锥形螺旋弹簧阵列；锥形螺旋弹簧阵列的上表面贴覆用于支撑磨粒和防水保护的抛光垫；锥形螺旋弹簧阵列包括若干相互独立的锥形螺旋弹簧，每个锥形螺旋弹簧对应一个半球形支架；抛光垫的上表面覆盖磨粒层，磨粒层上填充用于润滑和散热的抛光液。本发明的有益效果在于：结构紧凑，有效地解决了目前存在的拋光盘无法加工不规则曲面的问题并提高了加工效率；抛光盘底部增加了可变刚度的锥形弹簧，使拋光盘在接触到曲面时会具有良好的自适应性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种地下连续墙水平位移监测方法及智能监测装置

当前第 / 件

对硝基苄基酯酶突变体、编码基因及应用

同领域国内专利 · IPC: (B24D13_14)

B24D13_10 B24D13_14 覆盖2个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：16 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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