发明专利已授权

基于复合结构研抛工具的全频段面形误差协同控制方法

📄 申请号：CN202310975723.2 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2023-08-04

公开号

CN116984953A

公开日

2023-11-03

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B1_00

IPC 分类号

B24B1_00 , B24B49_12 , B24B35_00 ,

技术画像

所属领域

复合结构精密加工抛光工具面形误差控制研抛工具复合结构

应用场景

光学元件加工, 精密制造, 半导体晶圆抛光, 航空航天光学系统, 高端装备制造

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摘要

本发明属于超精密加工技术领域，具体公开了一种基于复合结构研抛工具的全频段面形误差协同控制方法，包括：获得初始低、中、高频误差分布模型。分析工件表面各频段误差分布特征，建立全频段面形误差协同控制模型。获取材料去除深度，设定各频段面形误差分布最大值。采用最佳组合算法获得最佳驱动电压值、最优轨迹及相关参量组合。根据最优参量组合建立判定矩阵对该参量组合下的执行效果进行评估。根据判定矩阵计算协同控制模型中的系数值，结合外部约束条件，代入全频段面形误差协同控制模型，得出最优解，获得最佳协同控制策略。本发明能够保证整个工具的结构稳定性，在实现抑制中频PSD1误差的同时保证低频面形不受破坏。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种农业旋耕刀轴水平调节装置

当前第 / 件

一种移动式山竹果采摘机器人

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