发明专利已授权

一种用于柔性场效应晶体管的聚合物介电层的制备方法

📄 申请号：CN202110716026.6 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-06-28

公开号

CN113410384A

公开日

2021-09-17

申请人

西南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L51_05

IPC 分类号

H01L51_05 , H01L51_40 ,

技术画像

所属领域

聚合物介电材料聚合物介电材料柔性场效应晶体管薄膜晶体管

应用场景

柔性显示, 可穿戴设备, 电子皮肤, 柔性传感器, 柔性集成电路

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摘要

本发明公开了一种用于柔性场效应晶体管的聚合物介电层的制备方法。聚合物介电材料Polyvinyl alcohol(PVA)虽具有高介电常数，但利用旋涂方法很难控制其形成的介电层的厚度，这会使对应场效应晶体管的漏电流大，导致开启电压大、稳定性差。我们特别引入一种可有效控制介电层厚度的刮涂加工技术。首先，在PVA溶液中加入两种交联材料并充分搅拌；接着，利用刮涂技术将热交联溶液涂抹在PEN/ITO基底上形成cPVA介电层。基于该介电层的柔性场效应晶体管表现出了极佳的电学性能。我们提出的方法简单有效、成本低、适用于大面积生产和柔性器件，为场效应晶体管在可穿戴电子电路中的应用打下了坚实的基础。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

兰属植物SSR引物，及其在居群遗传多样性分析中的应用

当前第 / 件

一种基于硅光子微腔的光混沌产生装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L51_05)

H01L51_00 H01L51_05 H01L51_40 H01L51_42 H01L51_44 H01L51_46 H01L51_48 H01L51_50 H01L51_52 H01L51_54 H01L51_56 覆盖11个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：19 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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