发明专利已授权

一种用于涂胶显影机的胶水回收装置

Name: 一种用于涂胶显影机的胶水回收装置
SKU: 202411784361X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202411784361.X 📄 发布日：2026/08/03

著录项目信息

申请日

2024-12-06

公开号

CN119259387B

公开日

2025-05-13

申请人

如东汇盛通半导体科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B05C11_10

IPC 分类号

B05C11_10

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备涂胶显影设备胶水回收

应用场景

半导体光刻, 晶圆制造, 涂胶显影工艺, 胶水回收利用

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摘要

本发明涉及显影机辅助设备领域，特别是涉及一种用于涂胶显影机的胶水回收装置。包括固定座、升降座和筛盘；固定座顶端呈开放式结构设置，固定座内部具有一个呈环状结构设置存储腔，存储腔底端开设有多个安装口；升降座位于固定座正上方，且升降座的底面用于抵接在存储腔内，以使存储腔内的胶水被挤压通过多个安装口；筛盘安装在固定座外底端，筛盘的筛分部分别与多个安装口相匹配，用于对胶水进行滤筛。上述用于涂胶显影机的胶水回收装置由于筛盘的外装结构设置，使得在后续过程中对筛盘进行维修和更换时更方便，并且由于存储腔的环形结构设置，使得胶水在进行滤筛时不会出现窜流的问题，整个滤筛过程相对更稳定。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：16 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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