发明专利 已授权

一种芯片自动化检测系统及方法

📄 申请号:CN202411777103.9 📄 发布日:2026/08/03

著录项目信息

申请日
2024-12-05
公开号
CN119246571B
公开日
2025-12-30
申请人
如东汇盛通半导体科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

芯片制造, 半导体封装测试, 工业自动化, 电子产品质量控制, 芯片生产线

摘要

本发明涉及芯片自动化检测技术领域,且公开了一种芯片自动化检测系统及方法,包括:记芯片内部的气泡在x光照射下所形成的图形为投影图形;对投影图形执行圆域规划策略,得到投影图形所在的圆,记为执行圆;获取执行矩形中所有的投影图形对应的执行圆,组成执行圆集;执行预划分策略,得到多个执行单元;针对任意一个执行单元;获取执行单元中执行圆的数量,记为第一侧面数量;当第一侧面数量>0,执行立体检测策略,得到执行截面上执行圆的体积;根据阈值比例,执行合格判定策略,判断芯片是否合格。通过用x光照射芯片的三个侧面,估算芯片内部的气泡数量,计算气泡空隙率判断芯片是否合格,简化检测步骤,提高检测的效率。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN119246571B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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