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一种基于三张光刻版解决电极短路问题的压电MEMS换能器制备方法

Name: 一种基于三张光刻版解决电极短路问题的压电MEMS换能器制备方法
Brand: 济南大学
SKU: 2024104408615
Availability: InStock

📄 申请号：CN202410440861.5 📄 发布日：2026/07/29

著录项目信息

申请日

2024-04-12

公开号

CN118317681B

公开日

2024-12-24

申请人

济南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H10N30_06

IPC 分类号

H10N30_06 , H01L21_027 , B81C1_00 , B06B1_06 ,

技术画像

所属领域

MEMS器件 MEMS器件压电换能器微纳加工

应用场景

超声换能器, 声学传感器, 医疗超声成像, 工业无损检测, 消费电子

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摘要

本发明公开了一种基于三张光刻版解决电极短路问题的压电MEMS换能器制备方法，包括以下步骤：在硅晶圆的上表面由下至上依次制备下电极层、压电薄膜层和上电极层；在硅晶圆的下表面生长绝缘层；分别对硅晶圆上表面、下表面使用光刻板进行第一轮光刻，暴露出上电极和下电极；分别在硅晶圆上、下表面生长Au，镀在上电极表面和下电极表面；分别在硅晶圆上、下表面使用光刻板进行第二轮光刻，上表面刻蚀至压电薄膜层，下表面刻蚀至下电极层。本发明将上下电极分别设置于硅晶圆的上下表面，从根本上避免了器件短路的问题，极大的提高了成品率。同时本发明仅用3张光刻版，整个工艺流程简洁，降低了时间成本及工艺难度，提供了生产效率。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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