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本实用新型公开了一种改进动态面形的MEMS振镜，包括多个呈围合状态的支架(1)，支架(1)的底部设有磁铁(2)，支架(1)上方设有固定板(4)，固定板(4)内经转轴设有转动框架(5)，转动框架(5)上经转轴设有微镜(6)，微镜(6)的背面设有均匀分布的多边形槽(7)，相邻多边形槽(7)之间具有脊线(8)相隔；本实用新型设置有多个磁铁，具备足够的驱动力，微镜背面具有多个多边形槽，在不影响结构强度的前提下实现减重，有效减少微镜增厚所带来的负面影响。

本发明公开了一种基于三张光刻版解决电极短路问题的压电MEMS换能器制备方法，包括以下步骤：在硅晶圆的上表面由下至上依次制备下电极层、压电薄膜层和上电极层；在硅晶圆的下表面生长绝缘层；分别对硅晶圆上表面、下表面使用光刻板进行第一轮光刻，暴露出上电极和下电极；分别在硅晶圆上、下表面生长Au，镀在上电极表面和下电极表面；分别在硅晶圆上、下表面使用光刻板进行第二轮光刻，上表面刻蚀至压电薄膜层，下表面刻蚀至下电极层。本发明将上下电极分别设置于硅晶圆的上下表面，从根本上避免了器件短路的问题，极大的提高了成品率。同时本发明仅用3张光刻版，整个工艺流程简洁，降低了时间成本及工艺难度，提供了生产效率。

本申请提供了一种MEMS气体传感器，MEMS气体传感器包括硅衬底、支撑层、加热元件、隔离层、测试元件和气敏元件，硅衬底包括正面、以及背离正面的背面，正面设有隔热腔，背面设有聚热腔，隔热腔和聚热腔连通，硅衬底还包括隔热腔相对设置的第一腔壁和第二腔壁；支撑层连接于第一腔壁和第二腔壁之间并位于隔热腔，且支撑层将隔热腔和聚热腔隔离；加热元件设置于支撑层并位于隔热腔内；隔离层覆盖于支撑层并覆盖加热元件；测试元件设置于隔离层背离加热元件的一面；气敏元件设置于测试元件背离隔离层的一面。此外，本申请还提供了一种MEMS气体传感器的制作方法。