本发明公开了一种多模态可调制柔性传感器及其调制方法、制备方法,涉及传感器技术领域,所述传感器的柔性基底层上由底到顶依次沉积底部电极、中间复合功能层和顶部敏感层;底部电极和中间复合功能层构成中间层;中间层的一侧沉积第一填充层;中间层的另一侧沉积第二填充层;第一填充层上沉积第一电极;第二填充层上沉积第二电极;第一电极和第二电极均与顶部敏感层接触。本发明不仅能实现多模态的独立感知,还能实现对感知性能的在线调制,在提高传感器的适应性和灵敏度的同时,简化了结构,便于集成化。
📄 2022111059963
📂 H10N30_00
👤 中国农业大学
📅 2022-09-09