发明专利已授权

一种微细线路的修复方法

📄 申请号：CN201911157684.5 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-11-22

申请人

广东盈科材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H05K3_22

IPC 分类号

H05K3_22

技术画像

所属领域

微细线路修复微细线路修复电路缺陷修复半导体制造工艺

应用场景

集成电路制造, 显示面板制造, 印刷电路板, 半导体封装, 微电子器件

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摘要

一种微细线路的修复方法，包括依次连通的火花烧蚀装置、微细线路修复装置、真空泵组成的制备系统；微细线路修复装置包括真空箱、储存腔、喷嘴、线路板装载加热台和第一支架；火花烧蚀装置的出口端通过气体输出管与真空箱连通，气体输出管的出口端安装有储存腔，储存腔的喷嘴位于所述真空箱内；火花烧蚀装置的进口端连通有气体输入管；包括以下步骤：步骤一，使用火花烧蚀装置制备微纳金属粉；步骤二，往制备系统通入惰性气体，惰性气体依次经过火花烧蚀装置、微细线路修复装置，微纳金属粉随惰性气体通入微细线路修复装置；步骤三，火花烧蚀装置制备的微纳金属粉随惰性气体进入微细线路修复装置。本修复方法使微细线路的修复工作变得简单、方便。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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