发明专利 已授权

一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台

📄 申请号:CN201911275985.8 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2019-12-12
申请人
佛山市华道超精科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

工业自动化, 精密制造, 半导体制造设备, 机器人, 光学对准

摘要

本发明公开了一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,包括X轴框架和第一柔性铰链平台,X轴框架外接Y轴框架的Y轴驱动装置的动力输出端连接,第一柔性铰链平台的X轴方向的侧面通过柔性铰链连接于框架上,第一柔性铰链平台的Y轴方向的侧面通过弹簧片式柔性铰链安装于X轴框架上;第一柔性铰链平台设于Y轴的每一条导轨上,隔离导轨摩擦的影响。本发明的X轴框架与X方向平台基座采用一体式加工制造,其余的平台组件直接安装在X方向平台基座上,采用一体式二自由度平台结构,避免了两层叠加的结构,不仅节省了材料成本,还降低了整个平台的重心。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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