发明专利已授权

一种紧凑型刚柔耦合平台连接结构及其构成的多轴运动平台

📄 申请号：CN201911274694.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-12-12

申请人

佛山市华道超精科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F16M11_04

IPC 分类号

F16M11_04 , F16M11_16 , F16M11_18 ,

技术画像

所属领域

机械连接结构机械连接结构多轴运动平台柔性铰链

应用场景

工业自动化, 精密定位, 半导体设备, 机器人, 光学调整

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摘要

本发明公开了一种紧凑型刚柔耦合平台连接结构及其构成的多轴运动平台，包括上层平台、下层平台、运动检测元件和驱动装置，上层平台基座设计成刚柔耦合结构安装到下层平台导轨上，下层平台上安装有所述驱动装置，驱动装置驱动上层平台沿导轨方向运动；运动检测元件检测上层平台框架的位移或速度，可选第二检测元件检测柔性铰链的变形量或变形速度。本发明将上层平台底部与下层平台融合为一体，省去了中间连接板，使得平台的整体重心降低，结构紧凑，Z方向更扁平化，并且可叠加多层平台，实现多自由度运动，灵活地搭建出所需的多自由度高精度运动平台。另外，本发明的刚柔耦合连接结构采用夹心式柔性铰，同时保证无装配误差和疲劳寿命。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台

当前第 / 件

基于预测模型和扰动快速消除的机械控制一体化设计方法

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