发明专利已授权

用于光学材料去除、抛光的装置及其使用方法和应用

📄 申请号：CN201310400822.4 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2013-09-06

公开号

CN103465113B

公开日

2015-10-21

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B1_00

IPC 分类号

B24B1_00

技术画像

所属领域

光学材料光学加工抛光设备表面处理光学材料

应用场景

光学元件制造, 精密加工, 半导体晶圆加工, 光学仪器制造, 消费电子制造

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摘要

本发明涉及一种光学加工装置，尤其涉及一种用于光学材料去除、抛光的装置及其使用方法和应用。本发明包括不锈钢管壁、绝缘陶瓷套管构成的壳体，壳体两端分别设置有工作气体入口和射流喷枪，绝缘陶瓷套管内设置有内电极，工作气体入口的内侧设置有涡流式气路分配器，所述内电极表面涂覆TiN涂层；不锈钢管壁的材质为1Cr18Ni9Ti，且外壳管壁厚度不小于3mm；所述涡流式气路分流器材料为介电陶瓷;靠近射流喷枪一端的不锈钢管壁上均布有活性反应气体入口。本发明，可用于石英、蓝宝石等光学材料的去除、抛光加工，去除效率高，加工成本低，同时适用性强，便于工业化应用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20151021

✅ 授权

20140122

?? 实质审查的生效：

20131225

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：29 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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