发明专利 已授权

一种光学材料亚表面损伤层深度及形貌测量方法

📄 申请号:CN201410315052.8 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2014-07-04
公开号
CN104061853B
公开日
2016-07-13
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光学元件加工, 精密制造, 质量控制

摘要

本发明涉及光学精密测量技术领域,特别是一种亚表面损伤层厚度的测量方法,首先将样品装夹在匀速运动的装夹机构上,控制装夹机构使样品浸入HF酸溶液,直到样品完全没入溶液;迅速从溶液提出样品,并使用探针式轮廓仪测量腐蚀后的剖面,得到裂纹纵深方向和样品竖直运动方向的轮廓曲线;由曲线上取得数据开始趋向平稳变化的临界点或极点,及测量过程中记录下的起始点,求得这两点之间的高度差或投影在原有表面两点的高度差,即样品亚表面损伤层深度D;利用光学显微镜对腐蚀后的平面进行三维形貌观察。采用本发明方法简单、快捷、准确,可以同时测得亚表面层深度和三维形貌,测试精度高,成本低,直观性强,对测试设备要求低。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:24 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

资金托管 权属尽调 包过户
🏢 淄博智来知识产权服务有限公司
✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)
王**¥-10万
李** 企业¥-8万
陈**¥-3万
查看全部出价