发明专利已授权

一种光学材料亚表面损伤层深度及形貌测量方法

Name: 一种光学材料亚表面损伤层深度及形貌测量方法
Brand: 西安工业大学
SKU: 2014103150528
Availability: InStock

📄 申请号：CN201410315052.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2014-07-04

公开号

CN104061853B

公开日

2016-07-13

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B7_26

IPC 分类号

G01B7_26 , G01B7_06 , G01B11_24 ,

技术画像

所属领域

光学材料光学检测精密测量无损检测光学材料

应用场景

光学元件加工, 精密制造, 质量控制

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摘要

本发明涉及光学精密测量技术领域，特别是一种亚表面损伤层厚度的测量方法，首先将样品装夹在匀速运动的装夹机构上，控制装夹机构使样品浸入HF酸溶液，直到样品完全没入溶液；迅速从溶液提出样品，并使用探针式轮廓仪测量腐蚀后的剖面，得到裂纹纵深方向和样品竖直运动方向的轮廓曲线；由曲线上取得数据开始趋向平稳变化的临界点或极点，及测量过程中记录下的起始点，求得这两点之间的高度差或投影在原有表面两点的高度差，即样品亚表面损伤层深度D；利用光学显微镜对腐蚀后的平面进行三维形貌观察。采用本发明方法简单、快捷、准确，可以同时测得亚表面层深度和三维形貌，测试精度高，成本低，直观性强，对测试设备要求低。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN104061853B

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该专利的转让价格是多少？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：50 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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📊 出价记录 (3条)

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