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本发明涉及光学精密测量技术领域，特别是一种亚表面损伤层厚度的测量方法，首先将样品装夹在匀速运动的装夹机构上，控制装夹机构使样品浸入HF酸溶液，直到样品完全没入溶液；迅速从溶液提出样品，并使用探针式轮廓仪测量腐蚀后的剖面，得到裂纹纵深方向和样品竖直运动方向的轮廓曲线；由曲线上取得数据开始趋向平稳变化的临界点或极点，及测量过程中记录下的起始点，求得这两点之间的高度差或投影在原有表面两点的高度差，即样品亚表面损伤层深度D；利用光学显微镜对腐蚀后的平面进行三维形貌观察。采用本发明方法简单、快捷、准确，可以同时测得亚表面层深度和三维形貌，测试精度高，成本低，直观性强，对测试设备要求低。

本发明公开了一种基于多尺度计算损伤前驱体对光学材料激光损伤阈值的评估方法，(1)本发明考虑米散射理论，将多种类型的损伤前驱体作为激光吸收源，结合热传输模型，动态地向光学材料中引入激光能量，评估损伤前驱体对材料损伤阈值影响。与现有单纯的表面固定热源(设定局部初始高温)的模拟方法不同。(2)本发明中涵盖了涉及光学材料的多种参数，通过调整相关参数，可以模拟分析多种光学材料的损伤阈值和损伤半径。这与现有的只针对单一材料的激光损伤模拟模型不同。