摘要
本发明提供一种高稳定霍尔元件及其制备方法,该高稳定霍尔元件结构包括硬质基片、引线端、由两层或多层不同材料的薄膜堆栈组合而成的霍尔片及壳体。所述的霍尔片结构设计为对称的“十”字形结构、缺角矩形结构、四叶草结构、十字星形结构等多种不同的结构,并且半导体薄膜层由不同温度霍尔系数的材料组成。所述的引线端位于不同结构的四端,两两对称的两端分别为电流输入端和霍尔电压输出端。本发明的一种高稳定霍尔元件,由于含两层或多层不同温度霍尔系数的薄膜层,不仅具有高系数形状效应、高输出电压的特点,而且可以降低霍尔系数对温度的响应,减小温度对霍尔电压的影响,提升霍尔元件的稳定性。