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本实用新型公开了一种内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器，包括作为电子运动空间，结合霍尔效应产生霍尔电压，从而实现对磁场的探测的有源区；将有源区与外部金属层相连，用于恒流激励的施加，以及霍尔电压的输出的电极；以及采用芯片内部互联方式的互联线；所述电极为7个，分别为C1～C7，采用对称式分布；7个电极两两采用内部互联线相连，互联的两电极位于对称点两侧。通过两侧电流交换减小两侧非对称性带来的传感器失调。本实用新型内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器与传统的与电极垂直霍尔传感器相比失调电压降低到原来的9.8％，失调磁场降低到原来的11.7％。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

本发明公开了一种内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器，包括作为电子运动空间，结合霍尔效应产生霍尔电压，从而实现对磁场的探测的有源区；将有源区与外部金属层相连，用于恒流激励的施加，以及霍尔电压的输出的电极；以及采用芯片内部互联方式的互联线；所述电极为7个，分别为C1～C7，采用对称式分布；7个电极两两采用内部互联线相连，互联的两电极位于对称点两侧。通过两侧电流交换减小两侧非对称性带来的传感器失调。本发明内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器与传统的与电极垂直霍尔传感器相比失调电压降低到原来的9.8％，失调磁场降低到原来的11.7％。

本发明公开了一种用于磁场测试传感器自定位调试装置即调试方法，其调试装置包括工作台，工作台上设有可水平旋转的两个支架一，两个支架一之间连接有可在竖直旋转的支架二，工作台上固设有通电螺线圈，该装置还包括自适应支撑件和调节杆，其中调节杆一端部设有便于安装霍尔元件的凹槽，自适应支撑件包括支腿一和支腿二，支腿一竖直滑动设于支腿二上，支腿一旋转连接在支架二上，自适应支撑件上设有便于固定套筒夹具的止口，支架二上设有便于夹持调节杆的调节杆夹具，工作台表面还设有用于吸附支腿二的电磁平板。该调试装置结构简单、操作方便，其调节方法能够实现快速、简便的将磁场测试传感器的感应方向和磁力线方向调试到一致，效率较高。

本发明公开了一种基于反常霍尔效应的灵敏度可调节的磁场传感器件。本发明从上到下依次为导电层、绝缘层、薄膜层、缓冲层，所述导电层用于接入控制电压，从而调控薄膜层垂直各向异性的大小，来调节磁性传感器件的灵敏度；其中薄膜层和缓冲层经过刻蚀微纳加工成的结构为十字结构，所述的薄膜层由CoFeB和MgO构成，当沿垂直于传感器件厚度方向通入的控制电压Us为一固定值时，传感器件横向两电极通入恒定电流I，检测来自于和电流方向一致的外部磁场H，而传感器件纵向两电极用于采集随外部磁场变化的电压，从而实现对外部磁场的检测。本发明可以灵活选择量程范围，准确测量外部磁场。