发明专利已授权

一种大量程双模热感桥式微流量计

📄 申请号：CN201810993995.4 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-08-29

公开号

CN109141559A

公开日

2019-01-04

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01F1_684

IPC 分类号

G01F1_684

技术画像

所属领域

热式流量测量热式流量测量微流量传感技术 MEMS传感器

应用场景

医疗设备, 分析仪器, 半导体制造, 环境监测, 工业自动化

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摘要

本发明提供一种大量程双模热感桥式微流量计，包括MEMS晶片、CMOS晶片和热感流量传感器，所述MEMS晶片和CMOS晶片键合而成；所述MEMS晶片上设有进口、出口和第一空腔，所述CMOS晶片上设有第二空腔，连接触点；所述热感流量传感器置于第一空腔和第二空腔之间，所述热感流量传感器包括一个热子和二个探子，二个探子对称分布于热子二侧，用于测量不同流速下热子上游和下游的温差，通过连接触点将温差信号传出,本发明所述的大量程双模热感桥式微流量计结构简单，性能可靠，灵敏度高，采用热线模式和量热模式双工作模式，扩大了量程。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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