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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

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本发明提供一种大量程双模热感桥式微流量计，包括MEMS晶片、CMOS晶片和热感流量传感器，所述MEMS晶片和CMOS晶片键合而成；所述MEMS晶片上设有进口、出口和第一空腔，所述CMOS晶片上设有第二空腔，连接触点；所述热感流量传感器置于第一空腔和第二空腔之间，所述热感流量传感器包括一个热子和二个探子，二个探子对称分布于热子二侧，用于测量不同流速下热子上游和下游的温差，通过连接触点将温差信号传出,本发明所述的大量程双模热感桥式微流量计结构简单，性能可靠，灵敏度高，采用热线模式和量热模式双工作模式，扩大了量程。

📄 2018109939954 📂 G01F1_684 👤 杭州电子科技大学 📅 2018-08-29

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一种大量程双模热感桥式微流量计

2018109939954 · 杭州电子科技大学

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CRISPR基因编辑技术

转让方：××大学
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交易类型：转让
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SiC功率器件工艺专利

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交易类型：转让
交易金额：¥680万

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钙钛矿光伏组件技术

转让方：××科技公司
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