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本发明公开了一种制氧机用流量计及实现方法，流量计包括单片机模块、电源模块、ADC数据采集模块、氧气流量传感器、放大电路和显示模块；单片机模块对采集的数据进行处理后与显示模块进行信息交互；电源模块为单片机模块、放大电路、显示模块提供稳定电压，同时为惠斯通电桥提供低电压；ADC数据采集模块将放大后的模拟信号转化为单片机模块能处理的数字信号；氧气流量传感器将流量信息转为电压信号；放大电路将氧气流量传感器输出的微弱电压值放大。实现方法中引入卡尔曼滤波算法，通过MTATLAB软件拟合出电压‑流速多项式方程，并引入自修正算法，将测量的电压值代入得到氧气流速。本发明能实现实时直观地监测氧气瞬时流量信息。

本发明公开了一种基于巨压阻传感器的高灵敏度气体流量测量装置及方法，装置包括若干个环绕在管道外壁上的巨压阻传感器，巨压阻传感器包括自下至上叠放的玻璃基底层、硅底层和绝缘二氧化硅层，绝缘二氧化硅层四周设置有硅铝异质结，硅铝异质结包括自内而外依次嵌套的内层硅、中间层铝和外层硅，硅铝异质结的两端设置有金属边，金属边通过引线连接金属片，金属片通过其上引出的电极连接铝端子；本发明采用硅铝异质结在相同应力下产生更大的阻值变化，使得压阻系数与应变系数成倍的增加，提升了灵敏度，使得测量数据更加准确；巨压阻传感器以120°环绕安装在通过待测气体的管道上，可以测量管道不同位置的数据，得到真实的气体流量值。