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项目申报：全部报过没有报过

发明已授权

本发明公开了一种镀制在衬底上的火棉胶薄膜的图形化方法。该方法包括如下步骤：利用薄膜沉积方法在火棉胶薄膜上沉积一种容易腐蚀的掩模层；利用微加工技术中的光刻、显影、腐蚀等方法把该掩模层进行处理，获得所需要火棉胶薄膜图形的掩模层图形；利用丙酮去除暴露出来的火棉胶薄膜，再利用掩模层材料腐蚀液腐蚀掉表面的掩模层，最终获得火棉胶薄膜所需要的微小图形。该方法能够精细地制作出火棉胶薄膜的微纳图形，而且具有所用材料成本低，方法简单，操作方便等优点，解决了目前火棉胶薄膜的图形化难题。

📄 2013100808748 📂 B81C99_00 👤 西安工业大学 📅 2013-03-14

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火棉胶薄膜的图形化方法

2013100808748 · 西安工业大学

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