本发明公开了一种二自由度scott‑russell柔性微纳定位平台,本发明采用固有频率较高的压电陶瓷作为驱动元件,同时为了在实现较大的输出位移时保持良好的解耦性能,采用放大比大、解耦性好的桥式放大机构作为一级位移放大机构。本发明引入scott‑russell机构作为二级位移放大机构,采用scott‑russell机构作为位移放大机构,具有运动解耦性能优越、导向性能好的特点;本发明引入十字形解耦结构均布于中心运动平台四周,该十字形解耦结构在目标运动方向上刚度较小,在非目标运动方向上刚度较大,这样既有利于输出位移,实现较大的位移输出,又具有良好的解耦性能,确保较高的定位精度。
📄 2019102431758
📂 B81C1_00
👤 杭州电子科技大学
📅 2019-03-28