发明专利已授权

一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构

Name: 一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构
Brand: 杭州富春云科技有限公司
SKU: 2019105837316
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910583731.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-07-01

公开号

CN110411615B

公开日

2021-08-03

申请人

杭州富春云科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01L1_14

IPC 分类号

G01L1_14

技术画像

所属领域

微机电系统微机电系统触觉传感器传感器结构

应用场景

人机交互, 机器人电子皮肤, 可穿戴设备, 医疗器械, 工业自动化

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构。本发明包括电容感应单元、支撑梁、压阻感应单元和后空腔，所述的电容感应单元由上下两片嵌入金属的可变形电极膜组成，其中位于上部的可变形电极膜的下方还设置有内凸起；所述支撑梁一端连接在电容感应单元的下部的可变形电极膜，另一端连接压阻感应单元，由此连通两种感应单元；所述的压阻感应单元由四对双层压阻梁组成，所述后空腔由硅衬底蚀刻凹坑形成，用于给压阻感应单元形变的空间。本发明通过改变感应单元结构后，在同样的负载下，响应变化更明显，传感器更灵敏，并且依然实现了两种感测单元的集成，扩大了传感器的感测范围。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN110411615B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种湿固化反应型沥青路面冷补料及其制备方法

当前第 / 件

自动化水产品蒸煮装置

同领域国内专利 · IPC: (G01L1_14)

G01L1_00 G01L1_02 G01L1_04 G01L1_10 G01L1_12 G01L1_14 G01L1_16 G01L1_18 G01L1_20 G01L1_22 G01L1_24 G01L1_25 G01L1_26 G01L11_00 G01L11_02 G01L13_00 G01L13_06 G01L15_00 G01L17_00 G01L19_00 G01L19_02 G01L19_04 G01L19_06 G01L19_08 G01L19_10 G01L19_12 G01L19_14 G01L19_16 覆盖28个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：60 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

常见问题

这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G01L1_14)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种peek高压连接器用性能检测装置

一种基于传感技术的复合胶带拉力检测装置

用于水电站叠梁门操作门机抓梁定位的智能化检测系统及其使用方法

服务项目

资源中心

关于柿子坊