发明专利已授权

一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构

📄 申请号：CN201910583731.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-07-01

公开号

CN110411615B

公开日

2021-08-03

申请人

杭州富春云科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01L1_14

IPC 分类号

G01L1_14

技术画像

所属领域

微机电系统微机电系统触觉传感器传感器结构

应用场景

人机交互, 机器人电子皮肤, 可穿戴设备, 医疗器械, 工业自动化

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构。本发明包括电容感应单元、支撑梁、压阻感应单元和后空腔，所述的电容感应单元由上下两片嵌入金属的可变形电极膜组成，其中位于上部的可变形电极膜的下方还设置有内凸起；所述支撑梁一端连接在电容感应单元的下部的可变形电极膜，另一端连接压阻感应单元，由此连通两种感应单元；所述的压阻感应单元由四对双层压阻梁组成，所述后空腔由硅衬底蚀刻凹坑形成，用于给压阻感应单元形变的空间。本发明通过改变感应单元结构后，在同样的负载下，响应变化更明显，传感器更灵敏，并且依然实现了两种感测单元的集成，扩大了传感器的感测范围。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种湿固化反应型沥青路面冷补料及其制备方法

当前第 / 件

自动化水产品蒸煮装置

同领域国内专利 · IPC: (G01L1_14)

G01L1_00 G01L1_02 G01L1_04 G01L1_06 G01L1_08 G01L1_10 G01L1_12 G01L1_14 G01L1_16 G01L1_18 G01L1_20 G01L1_22 G01L1_24 G01L1_25 G01L1_26 G01L11_00 G01L11_02 G01L13_00 G01L13_06 G01L15_00 G01L17_00 G01L19_00 G01L19_02 G01L19_04 G01L19_06 G01L19_08 G01L19_10 G01L19_12 G01L19_14 G01L19_16 覆盖30个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：33 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G01L1_14)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种纯水加热装置

一种液压动力调平装置

一种电阻式压力传感器

服务项目

资源中心

关于柿子坊